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无尘室的分类

无尘室的分类

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  • 发布时间:2021-10-13 10:14
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【概要描述】1.乱流式:空气由空调机箱经风管和洁净室内的空气过滤器进入洁净室,并由洁净室内的回风柱或高架地板回风。气流是呈不规则的乱流或涡流状态。此型式适合于洁净室等级为:1000-100000级 2.层流式:空气气流运动成一均匀的直线形,空气由覆盖率的过滤器进入室内,并由高架地板或两侧回风柱回风,此型式适合于级别比较高的洁净室 3.复合式:复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。洁净

无尘室的分类

【概要描述】1.乱流式:空气由空调机箱经风管和洁净室内的空气过滤器进入洁净室,并由洁净室内的回风柱或高架地板回风。气流是呈不规则的乱流或涡流状态。此型式适合于洁净室等级为:1000-100000级 2.层流式:空气气流运动成一均匀的直线形,空气由覆盖率的过滤器进入室内,并由高架地板或两侧回风柱回风,此型式适合于级别比较高的洁净室 3.复合式:复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。洁净

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  • 发布时间:2021-10-13 10:14
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1. 乱流式:空气由空调机箱经风管和洁净室内的空气过滤器进入洁净室,并由洁净室内的回风柱或高架地板回风。气流是呈不规则的乱流或涡流状态。此型式适合于洁净室等级为:1000-100000级

 
2.层流式:空气气流运动成一均匀的直线形,空气由覆盖率的过滤器进入室内,并由高架地板或两侧回风柱回风,此型式适合于级别比较高的洁净室
 
3.复合式:复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。洁净隧道以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式

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